Dans le cadre du RTRA «Nanosciences aux limites de la nanoélectronique», la Fondation Nanosciences a soutenu un projet commun d’équipement de MEB- FIB déposé en 2008 par les plateformes PFNC*, PTA* et CMTC*.

Le MEB-FIB, initialement utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs, est en train de devenir un outil incontournable pour la recherche en nanosciences.

Il s’agit d’un microscope électronique à balayage haute résolution (MEB FEG : Field Emission Gun) couplé à un faisceau d’ions focalisé (FIB : Focused Ion Beam). Il permet la fabrication, la manipulation, l’imagerie par reconstruction 3D et la caractérisation d’objets préparés à l’échelle nanométrique.

Cet équipement sera installé sur le site de Minatec dans les locaux de la PFNC et sera opérationnel à l’automne 2009.

Les caractéristiques ainsi que les potentialités de cet équipement seront présentées par la plate-forme CMTC au cours de ces réunions d’information.

*PFNC : Plateforme de Nanocaractérisation du CEA Grenoble

*PTA : Plateforme de Technologie Amont

*CMTC : Consortium des Moyens Technologiques Communs

Pour plus d'informations:

florence.robaut@cmtc.grenoble-inp.fr

frederic.charlot@cmtc.grenoble-inp.fr